PFC・PFN除害装置

低温（600℃以下）、高分解率（99％以上）でPFC・SF6・NF3を除害処理します。 　　フッ素分を化合物として固定しますので後段でのフッ素分の処理が不要です。 　　取扱いの容易な除害カラム（反応器）交換方式 　　除害に必要なユーティリーティは電気、空気、窒素だけです。
４０L型	１００L型
●1筒式と2筒式の2タイプの収納BOXがあります。 ●PFC、SF6を除害するPFC除害装置(クリーンエスPF）とNF3を除害するPFN除害装置（クリーンエスPFN）　 の2種類があります。 ●処理能力により１００Lと４０Lを選定します。
1.終点（破過）検知システム 　ガス検知器により反応器の終点（破過）を確認できます。 2.圧力検知とバイパスシステム 　除害筒およびラインの閉寒状態を圧力センサーの圧力上昇で検知し、バイパス弁を自動開し除害筒をバイパスさせます。 3.安全な交換システム 　1筒式：空気又は※窒素パージにより有害ガスの外部漏洩なしで交換できます。（※PFNのみ窒素パージ） 　2筒式：ガス検知器により反応器の終点（破過）を検知し自動で予備筒に切替可能です。 　　　　 　1筒式の機能に加えエッチング装置を停止せずに除害筒の交換ができます。 4.装置の排気 　装置上部に設けたダンパーとお客様の排気ダクトを接続して排気させる事により、除害装置内部が 　負圧となり、万が一装置内にリークが発生しても除害装置外に漏洩する事がありません。
タイプ 標準サイズ　外形寸法（W×D×H） 処理能力　CF4／NF3 ４０L型 1筒式 800×750×1800 8kg／20kg　 2筒式 1200×750×1800 8kg×2／20kg×2 １００L型 1筒式 900×950×1650 20kg／50kg　 2筒式 1700×850×1650 20kg×2／50kg×2