クリーンエスF-100

クリーンエスＺシリーズ除害筒を機能付のBOX内に収納し、 システムとして安全に使用できます。 （圧力検知バイパスシステム、色相検知システム、ヒーティングシステム、 重量検知システム）等
HBr　・　HF　・　SiF4　・　SF4　・　HCL　etc
1.酸性ガスは中和反応により除去 　吸収塔で薬液により廃ガスを反応吸収します。 2.酸化性ガスは還元反応により除去 　使用する吸収液は1,2の能力を兼ね備えたものなので特殊な触媒、 　塩基性水溶液等を加え廃ガス吸収に対して最適条件を選び調整 　したものを使用していただきます。
	シリコン系ドライエッチング湿式排ガス除害装置 クリーンエスF100
1.終点（破過）検知システム 　薬液の破過検知はＰＨの連続測定により行い、終点に達した場合警報にてお知らせします。 　　　　 2.安全な交換システム 　セミオートマチック方式により工具を使用せず容易、安全に交換できます。 　抜き出した古い薬液は返却していただきますと責任をもって処理いたします。。 　新しい薬液は返却いただいた容器に充填し送還いたします。
タイプ 標準サイズ　外形寸法（W×D×H） F-100型 550×550×1690